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    碳化硅粉在碳化硅晶圓生產(chǎn)中的應(yīng)用[ 09-06 16:39 ]
    碳化硅晶圓的生產(chǎn),是先要制備碳化硅襯底,目前其制備多采用改進(jìn)Lely法、高溫CVD法和溶液法,其中以改進(jìn)Lely法為主流。 Lely法,又稱(chēng)升華法,其基本原理是:在空心圓筒狀石墨坩堝中(最外層石墨坩堝,內(nèi)置多孔石墨環(huán)),將具有工業(yè)級(jí)純度的碳化硅粉料投入坩堝與多孔石墨環(huán)之間加熱到2500℃,碳化硅在此溫度下分解與升華,產(chǎn)生一系列氣相物質(zhì)比如硅單晶、Si2C和SiC2等。由于坩堝內(nèi)壁與多孔石墨環(huán)之間存在溫度梯度,這些氣相物質(zhì)在多孔石墨環(huán)內(nèi)壁隨機(jī)生成晶核。但Lely法產(chǎn)率低,晶核難以控制,而且會(huì)形成不同結(jié)構(gòu),尺寸也
    碳化硅陶瓷在新能源領(lǐng)域的潛力[ 09-05 16:13 ]
    碳化硅陶瓷是從20世紀(jì)60年代開(kāi)始發(fā)展起來(lái)的一種先進(jìn)陶瓷材料,由于具備化學(xué)性能穩(wěn)定、導(dǎo)熱系數(shù)高、熱膨脹系數(shù)小、密度小、耐磨性能好、硬度大、機(jī)械強(qiáng)度高、耐化學(xué)腐蝕等特性,在精細(xì)化工、半導(dǎo)體、冶金、國(guó)防軍工等領(lǐng)域都有著廣泛的應(yīng)用。 值得關(guān)注的是,在近年發(fā)展得如火如荼的鋰電池領(lǐng)域中,碳化硅陶瓷在其原料的制備環(huán)節(jié)上也同樣發(fā)揮著重要作用,如: ①磷酸鐵鋰正極材料的超細(xì)研磨 磷酸鐵鋰是目前廣泛使用的鋰電池正極材料之一。由于納米粒子可減小鋰離子嵌入脫出深度和行程,保證大電流放電時(shí)容量不衰減,因此“超
    碳化硅功率器件的多功能集成封裝技術(shù)和散熱技術(shù)介紹[ 09-03 16:45 ]
    碳化硅器件的出現(xiàn)推動(dòng)了電力電子朝著小型化的方向發(fā)展,其中集成化的趨勢(shì)也日漸明顯。瓷片電容的集成較為常見(jiàn),通過(guò)將瓷片電容盡可能靠近功率芯片可有效減小功率回路寄生電感參數(shù),減小開(kāi)關(guān)過(guò)程中的震蕩、過(guò)沖現(xiàn)象。但目前瓷片電容不耐高溫,所以并不適宜于碳化硅的高溫工作情況。 驅(qū)動(dòng)集成技術(shù)也逐漸引起了人們的重視,三菱、英飛凌等公司均提出了SiC智能功率模塊(IPM),將驅(qū)動(dòng)芯片以及相關(guān)保護(hù)電路集成到模塊內(nèi)部,并用于家電等設(shè)備當(dāng)中。此外,還有EMI濾波器集成,溫度、電流傳感器集成、微通道散熱集成等均有運(yùn)用到碳化硅封裝設(shè)計(jì)當(dāng)中。
    碳化硅功率器件的高溫封裝技術(shù)介紹[ 09-02 17:02 ]
    在進(jìn)行芯片正面連接時(shí)可用銅線替代鋁線,消除鍵合線與DBC銅層之間的熱膨脹系數(shù)差異,極大地提高模塊工作的可靠性。此外,鋁帶、銅帶連接工藝因其更大的截流能力、更好的功率循環(huán)以及散熱能力,也有望為碳化硅提供更佳的解決方案。 錫片或錫膏常用于芯片和DBC板的連接,焊接技術(shù)非常成熟而且簡(jiǎn)單,通過(guò)調(diào)整焊錫成分比例,改進(jìn)錫膏印刷技術(shù),真空焊接減小空洞率,添加還原氣體等可實(shí)現(xiàn)極高質(zhì)量的焊接工藝。但焊錫熱導(dǎo)率較低,且會(huì)隨溫度變化,并不適宜SiC器件在高溫下工作。此外,焊錫層的可靠性問(wèn)題也是模塊失效的一大原因。 燒結(jié)銀連接
    碳化硅功率器件的低雜散電感封裝技術(shù)介紹[ 09-01 16:56 ]
    目前已有的大部分商用SiC器件仍采用傳統(tǒng)Si器件的封裝方式。傳統(tǒng)封裝技術(shù)成熟,成本低,而且可兼容和替代原有Si基器件。但傳統(tǒng)封裝結(jié)構(gòu)導(dǎo)致其雜散電感參數(shù)較大,在碳化硅器件快速開(kāi)關(guān)過(guò)程中造成嚴(yán)重電壓過(guò)沖,也導(dǎo)致?lián)p耗增加及電磁干擾等問(wèn)題。 而雜散電感的大小與開(kāi)關(guān)換流回路的面積相關(guān)。其中,金屬鍵合連接方式、元件引腳和多個(gè)芯片的平面布局是造成傳統(tǒng)封裝換流回路面積較大的關(guān)鍵影響因素。消除金屬鍵合線可以有效減小雜散電感值,將其大小控制在5nH以下。下面就其中典型的封裝結(jié)構(gòu)分別進(jìn)行介紹。 ①單管翻轉(zhuǎn)貼片封裝 阿肯
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