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SiC的不同晶體結(jié)構(gòu)[ 04-16 13:30 ]
由于Si與C雙原子層堆積序列的差異會(huì)導(dǎo)致不同的晶體結(jié)構(gòu),SiC有著超過200種(目前已知)同質(zhì)多型族。 其中最被人熟知的便是立方密排的3C-SiC和六方密排的2H-SiC、4H-SiC、6H-SiC(碳化硅具有優(yōu)良的物理和化學(xué)性能)。 最常用的多型是: 4H-SiC——功率集成電路應(yīng)用 6H-SiC——射頻應(yīng)用 在不同的晶面上生長不同的晶錠多型體: 4H-SiC——在碳(C)面晶種上生長 6H-SiC&
碳化硅陶瓷換熱器的優(yōu)點(diǎn)[ 04-12 14:14 ]
碳化硅陶瓷換熱器有以下幾個(gè)優(yōu)點(diǎn): (1)碳化硅陶瓷換熱器的使用方法直接、簡單、快捷、高效、環(huán)保、節(jié)能。不需摻冷風(fēng)及高溫保護(hù),維修成本低,無需對陶瓷換熱器進(jìn)行任何操作。適用于各種環(huán)境的燃?xì)夤I(yè)窯爐的余熱回收利用,尤其解決了各種高溫工業(yè)窯爐余熱溫度過高無法利用的難題; (2)國家要求陶瓷換熱器溫度≥1000℃,由于它耐高溫,所以就可以放在高溫區(qū)域,溫度越高,換熱效果越好,節(jié)能越多; (3)高溫情況下替代金屬換熱器; (4)解決化工行業(yè)熱交換、耐腐蝕的難題; (5)碳化硅陶瓷換熱器適應(yīng)
半絕緣型碳化硅襯底的主要應(yīng)用[ 03-24 16:23 ]
半絕緣型碳化硅襯底主要應(yīng)用于制造氮化鎵射頻器件。通過在半絕緣型碳化硅襯底上生長氮化鎵外延層,制得碳化硅基氮化鎵外延片,可進(jìn)一步制成氮化鎵射頻器件。碳化硅基氮化鎵射頻器件已成功應(yīng)用于眾多領(lǐng)域,以無線通信基礎(chǔ)設(shè)施和國防應(yīng)用為主。無線通信基礎(chǔ)設(shè)施方面,5G具有大容量、低時(shí)延、低功耗、高可靠性等特點(diǎn),要求射頻器件擁有更高的線性和更高的效率。相比砷化鎵和硅基LDMOS射頻器件,以碳化硅為襯底的氮化鎵射頻器件同時(shí)具有碳化硅良好的導(dǎo)熱性能和氮化鎵在高頻段下大功率射頻輸出的優(yōu)勢,能夠提供下一代高頻電信網(wǎng)絡(luò)所需要的功率和效能,成為5
導(dǎo)電型碳化硅襯底的主要應(yīng)用[ 03-23 16:21 ]
導(dǎo)電型碳化硅襯底主要應(yīng)用于制造功率器件。與傳統(tǒng)硅功率器件制作工藝不同,碳化硅功率器件不能直接制作在碳化硅襯底上,需在導(dǎo)電型襯底上生長碳化硅外延層得到碳化硅外延片,并在外延層上制造各類功率器件。碳化硅功率器件具有高電壓、大電流、高溫、高頻率、低損耗等獨(dú)特優(yōu)勢,將極大地提高現(xiàn)有使用硅基功率器件的能源轉(zhuǎn)換效率,對高效能源轉(zhuǎn)換領(lǐng)域產(chǎn)生重大而深遠(yuǎn)的影響,主要應(yīng)用領(lǐng)域有電動(dòng)汽車/充電樁、光伏新能源、軌道交通、智能電網(wǎng)等。
碳化硅晶片生產(chǎn)流程及清洗技術(shù)[ 03-17 14:52 ]
碳化硅晶片經(jīng)過清洗可以有效去除表面沾污和雜質(zhì),同時(shí)保證不引入新的雜質(zhì),從而使最終的碳化硅晶片產(chǎn)品滿足半導(dǎo)體下游客戶的要求。 傳統(tǒng)的硅襯底材料使用RCA標(biāo)準(zhǔn)清洗方法來去除材料表面的污染,但是碳化硅是一種極性晶體,表面帶有一定的電荷,吸附污染物后變得更加難以清洗。
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