黃河旋風(fēng)碳化硅切割專用金剛線研制成功并投放市場
近日,河南黃河旋風(fēng)股份有限公司碳化硅切割專用金剛線鋸研發(fā)取得突破,經(jīng)多家客戶使用,其產(chǎn)品性能已完全達(dá)到甚至超過日本同類產(chǎn)品水平,不論在切割效率、切割質(zhì)量還是切割穩(wěn)定性,均全面優(yōu)于現(xiàn)有砂漿切割水平。
近年來,以氮化鎵、碳化硅為代表的第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展迅猛,國家高度重視,企業(yè)積極布局,整個(gè)行業(yè)呈現(xiàn)爆發(fā)式的增長勢頭。碳化硅材料作為第三代半導(dǎo)體之一,具有優(yōu)異的性能,同時(shí)也具有難加工的特點(diǎn),其超高的硬脆性特點(diǎn)導(dǎo)致加工難度大、風(fēng)險(xiǎn)高、效率低、良品率不高,尤以切割為難點(diǎn)。目前市場上主要以金剛石砂漿切割為主,切割速度慢,效率低,砂漿利用率低,成本居高不下,砂漿用微粉供應(yīng)已達(dá)極限,固結(jié)金剛線替代砂漿切割已成必然趨勢。
目前市場上能夠穩(wěn)定供應(yīng)的碳化硅切割線僅有日本某企業(yè),在美日等國對我國芯片行業(yè)打壓的大背景下,碳化硅切割金剛線的國產(chǎn)化就特別迫切。然而碳化硅晶圓價(jià)值高,要求切割低風(fēng)險(xiǎn)、高質(zhì)量,對金剛線的質(zhì)量要求就極為嚴(yán)苛。
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